1. التصميم المتكامل للمجهر المعدني البصري ومجهر القوة الذرية ، وظائف قوية
2. يحتوي على كل من مجهر بصري ووظائف التصوير المجهر الذري ، وكلاهما يمكن أن يعمل في نفس الوقت دون التأثير على بعضهما البعض
3. في نفس الوقت ، يكون له وظائف القياس البصري ثنائي الأبعاد والقياس ثلاثي الأبعاد القوة الذرية
4. يتم دمج رأس الكشف عن الليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومكافحة التداخل قوي
5. جهاز تحديد موقع التحقيق الدقيق ، تعديل محاذاة بقعة بالليزر أمر سهل للغاية
6. تقترب عينة محرك المحاور الواحد تلقائيًا من المسبار رأسياً ، بحيث يتم مسح طرف الإبرة بشكل عمودي على العينة
7. طريقة تغذية الإبرة الذكية للاكتشاف التلقائي للسيراميك الكهرمي المضغوط الذي يسيطر عليه المحرك يحمي المسبار والعينة
8.
9. محرر مستخدم التصحيح غير الخطي المتكامل ، وتوصيف نانومتر ودقة القياس أفضل من 98 ٪
تحديد:
| وضع التشغيل | وضع اللمس ، وضع النقر |
| الوضع الاختياري | الاحتكاك/القوة الجانبية ، السعة/الطور ، القوة المغناطيسية/الكهروستاتيكية |
| منحنى طيف القوة | منحنى قوة FZ ، منحنى RMS-Z |
| نطاق المسح الضوئي xy | 50*50um ، اختياري 20*20um ، 100*100um |
| Z نطاق المسح | 5um ، 2UM اختياري ، 10um |
| دقة المسح | أفقي 0.2 نانومتر ، 0.05nm العمودي |
| حجم العينة | φ≤68mm ، H≤20mm |
| عينة مرحلة السفر | 25*25mm |
| العدسة البصرية | 10x |
| الهدف البصري | 5x/10x/20x/50x الخطة الأهداف الأهداف |
| طريقة الإضاءة | نظام الإضاءة لو كولر |
| التركيز البصري | التركيز اليدوي الخام |
| آلة تصوير | مستشعر CMOS 5MP |
| عرض | شاشة لوحة مسطحة 10.1 بوصة مع وظيفة القياس ذات الصلة بالرسوم البيانية |
| سرعة المسح | 0.6Hz-30Hz |
| زاوية المسح الضوئي | 0-360 ° |
| بيئة التشغيل | نظام التشغيل Windows XP/7/8/0 |
| واجهة الاتصال | USB2.0/3.0 |
