1. تصميم متكامل لمجهر علم المعادن البصري ومجهر القوة الذرية ، وظائف قوية
2- يحتوي على وظائف مجهر ضوئي وتصوير مجهر القوة الذرية ، وكلاهما يمكن أن يعمل في نفس الوقت دون التأثير على بعضهما البعض
3- في نفس الوقت له وظائف القياس البصري ثنائي الابعاد ومجهر القوة الذرية للقياس ثلاثي الابعاد
4. تم دمج رأس الكشف بالليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية
5. جهاز تحديد موقع المسبار الدقيق ، ضبط محاذاة البقعة بالليزر سهل للغاية
6. تقترب عينة القيادة أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يتم مسح طرف الإبرة ضوئيًا بشكل عمودي على العينة
7. طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف الأوتوماتيكي للسيراميك الكهروإجهادي المضغوط المضغوط الذي يتم التحكم فيه عن طريق المحرك يحمي المسبار والعينة
8. نظام تحديد المواقع البصري ذو التكبير الفائق لتحقيق التموضع الدقيق للمسبار ومنطقة مسح العينة
9. محرر مستخدم للتصحيح اللاخطي للماسح المدمج ، توصيف نانومتر ودقة قياس أفضل من 98٪
تحديد:
| وضع التشغيل | وضع اللمس ، وضع النقر |
| الوضع الاختياري | الاحتكاك / القوة الجانبية ، السعة / الطور ، القوة المغناطيسية / الكهروستاتيكية |
| منحنى طيف القوة | منحنى قوة FZ ، منحنى RMS-Z |
| نطاق المسح XY | 50 * 50um ، اختياري 20 * 20um ، 100 * 100um |
| نطاق المسح Z | 5um ، اختياري 2um ، 10um |
| دقة المسح | أفقي 0.2 نانومتر ، عمودي 0.05 نانومتر |
| حجم العينة | Φ≤68mm ، H≤20mm |
| عينة من السفر المرحلي | 25 * 25 مم |
| العدسة البصرية | 10x |
| الهدف البصري | 5X / 10X / 20X / 50X خطة أهداف أحادية اللون |
| طريقة الإضاءة | نظام الإضاءة لو كوهلر |
| التركيز البصري | التركيز اليدوي الخام |
| آلة تصوير | مستشعر CMOS بدقة 5 ميجابكسل |
| عرض | شاشة مسطحة مقاس 10.1 بوصة مع وظيفة قياس متعلقة بالرسم البياني |
| سرعة المسح | 0.6 هرتز - 30 هرتز |
| زاوية المسح | 0-360 درجة |
| بيئة التشغيل | نظام التشغيل Windows XP / 7/8/10 |
| واجهة الاتصالات | USB2.0 / 3.0 |
