1 تم دمج رأس الكشف بالليزر ومرحلة مسح العينة ، والهيكل مستقر للغاية ، ومقاومة التداخل قوية
2. جهاز تحديد المواقع مسبار الدقة ، تعديل محاذاة بقعة الليزر سهل للغاية
3- تقترب عينة محرك أحادية المحور تلقائيًا من المسبار عموديًا ، بحيث يكون طرف الإبرة متعامدًا مع فحص العينة
4.طريقة التغذية بالإبرة الذكية للكشف التلقائي عن السيراميك الكهروضغطي المضغوط المضغوط الذي يتحكم فيه المحرك يحمي المسبار والعينة
5-تحديد المواقع البصري التلقائي ، لا حاجة للتركيز ، والمراقبة في الوقت الحقيقي وتحديد موقع منطقة مسح عينة التحقيق
6.Spring طريقة تعليق صدمات ، بسيطة وعملية ، تأثير جيد للصدمات
7.صندوق عازل للصوت محمي بالمعدن ، مستشعر درجة حرارة ورطوبة مدمج عالي الدقة ، مراقبة في الوقت الحقيقي لبيئة العمل
8.محرر مستخدم تصحيح غير خطي متكامل للماسح الضوئي ، توصيف نانومتر ودقة قياس أفضل من 98٪
| وضع التشغيل | وضع اللمس ، وضع النقر |
| الوضع الاختياري | الاحتكاك / القوة الجانبية ، السعة / الطور ، القوة المغناطيسية / الكهروستاتيكية |
| منحنى طيف القوة | منحنى قوة FZ ، منحنى RMS-Z |
| نطاق المسح XY | 20 * 20um ، اختياري 50 * 50um ، 100 * 100um |
| نطاق المسح Z | 2.5um ، اختياري 5um ، 10um |
| دقة المسح | أفقي 0.2 نانومتر ، عمودي 0.05 نانومتر |
| حجم العينة | Φ≤90mm ، H≤20mm |
| عينة من السفر المرحلي | 15 * 15 ملم |
| المراقبة البصرية | 4X عدسة بصرية موضوعية / دقة 2.5 ميكرومتر |
| سرعة المسح | 0.6 هرتز - 30 هرتز |
| زاوية المسح | 0-360 درجة |
| بيئة التشغيل | نظام التشغيل Windows XP / 7/8/10 |
| واجهة الاتصالات | USB2.0 / 3.0 |
| تصميم ممتص للصدمات | الزنبرك المعلق / الصندوق المعدني المحمي |
