طلب
تصميم الكل في واحد ، والهيكل الذكي والشكل. تم تصميم مرحلة الرأس والعينات Sscan معًا ، وأداء قوي لمكافحة الهراء. أو تلقائيًا ، لإدراك تحديد موقع منطقة المسح الدقيقة. يسمح جهاز النقل العلي الموضع. نظام مراقبة نظام مراقبة منطقة العينة في الوقت الفعلي وموضعه ؛ استخدم Servomotor لتحقيق نظام إلكتروني لتركز CCD على أنه معياري وسهل للصيانة والتطوير. مع ذلك مع العديد من إلكترونيات التحكم في أوضاع العمل لمزيد من التطوير.
الميزات الرئيسية
1. تم تصميم رأس المسح وعينة معا ، أداء قوي لمكافحة الازدياد
2. دقة الكشف عن الليزر وجهاز محاذاة التحقيق يجعل تعديل الليزر بسيطًا وسهلاً ؛
3. تكييف Servomotor لدفع العينة التي تقترب من TIP يدويًا أو تلقائيًا ، لتحقيق تحديد موقع منطقة المسح الدقيقة.
4. يسمح جهاز نقل العينة العالي بالدقة وجهاز نقل عينة كبير إلى مسح أي منطقة مثيرة للاهتمام من العينة ؛
5. نظام المراقبة البصري للتحقق من الطرف وتحديد المواقع.
6. تم تصميم النظام الإلكتروني على أنه معياري وسهل للصيانة ومزيد من التطوير.
7. اعتماد الربيع لعزل الاهتزاز ، أداء بسيط وجيد.
مواصفة
| عملية | وضع الاتصال ، وضع الاحتكاك ، | زاوية المسح الضوئي | عشوائي |
| حجم العينة | Ø≤90mm ، H≤20mm | حركة عينة | 0 ~ 20mm |
| الأعلى. مسح | x/y: 20μm ، z: 2μm | عرض النبض للاقتراب من المحرك | 10 ± 2ms |
| دقة | x/y: 0.2 نانومتر ، z: 0.05nm | النظام البصري | التكبير: 4x ، |
| معدل المسح | 0.6Hz ~ 4.34Hz | نقاط البيانات | 256 × 256،512 × 512 |
| مسح | XY: 18 بت D/A ، Z: 16 بت D/A | نوع الملاحظات | ردود الفعل الرقمية DSP |
| أخذ عينات من البيانات | واحد 14 بت A/D و 16 بت مزدوجة A/D القناة متعددة في وقت واحد | ||
| اتصال الكمبيوتر | USB2.0 | معدل أخذ عينات التغذية المرتدة | 64.0khz |
| النوافذ | متوافق مع Windows 98/2000/XP/7/8 | ||
معيار
GB/T 2985-1991
صور حقيقية
